1.预处理由原水泵、砂过滤器、活性碳滤器、5μ滤器、投药系统等组成。其目的是全部或部分去除原水中的机械杂质、悬浮物、微生物、胶体、溶解性气体（主要针对水中的余氯而言），以及部分无机、有机杂质等，以达到后级工序的进水要求。
2.预脱盐系统由高压泵、两套一级反渗透机组、清洗系统等组成。初步脱除水中的溶解性固体，同时也能去除前道工序没有去除的有机物、颗粒及大部分细菌。
3.深度脱盐由混合床组成。进一步去除水中的溶解性离子、可溶性硅等。
4.后级处理由0.22μ滤器、纯水箱、纯水泵等组成。进一步去除水中的细小颗粒，达到最终电阻率≥2MΩ·cm(25℃)出水要求的指标。