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本文对蚀刻过程中的沉铜条件进行了研究。从沉淀原理和蚀刻原理出发,开展了不加NH3·H2O与加NH3·H2O两种情况下铜沉淀剂–Na2S的耗量与Cu去除率的关系研究。(此为pdf格式)
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