摘要：根据半导体工业废水的特点，将其分为无机（氟系）废水、有机废水、酸碱废水三部分，分别采用化学混凝、MBBR反应池、中和等方式进行处理，处理后合流排出。简述了各构筑物的设备配置、设计参数等，该工程采用全过程计算机控制，自动化程度高，处理效果较好。