产生臭氧的气源可以是空气或氧气，经过高压放电管后生成臭氧。其结构包括冷却剂、接地电极、放电空隙、绝缘体、高压电极。空气或氧气中的含水量对产生的臭氧质量产生非常大的影响，含水份越少越好。